機廠於95年辦理前期走廊研究時，規劃設置於鶯歌大漢溪北側新生地，至可行性階段時，該規劃位置已設置三鶯陶瓷藝術主題園區，故建議優先考量三峽河北側農業區為機廠用地。後於綜合規劃階段，考量機廠區位、基地完整性、既有建物拆遷量最少、可利用之公有地等因素，以三峽龍埔路南側為機廠位置，另因預計需容納儲車數37列，與維修工廠、洗車廠、備品倉儲區、測試軌、變電站、滯洪沉砂池、行控中心及其他附屬設施等，務實評估需求約12.245公頃，整併LB05站出入口用地與高架進出機廠軌道及周邊捷運設施面積約1.885公頃後，總計面積約14.13公頃。